行業(yè)興起與展望
晶圓作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，高度集成和精確工藝使其成為現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基礎(chǔ)。半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備通過驗(yàn)證晶圓質(zhì)量和性能，確保產(chǎn)品達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)。而轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)通常用于半導(dǎo)體制造中的晶圓分選和處理過程。因此，塔式分選機(jī)與半導(dǎo)體檢測(cè)密切相關(guān)，它們共同確保半導(dǎo)體產(chǎn)品在制造過程中的質(zhì)量控制和最終產(chǎn)品的可靠性。
中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)市場(chǎng)因電子行業(yè)的蓬勃發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步而快速擴(kuò)展，展示了巨大的市場(chǎng)潛力。隨著新技術(shù)的引入和市場(chǎng)需求的增長(zhǎng)，該市場(chǎng)在未來有望繼續(xù)擴(kuò)展，并為全球半導(dǎo)體檢測(cè)行業(yè)帶來新的興起與展望
IC終測(cè)環(huán)節(jié)--轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)
轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)介紹
半導(dǎo)體檢測(cè)從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到最終測(cè)試都不可或缺，貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制造過程。半導(dǎo)體檢測(cè)包括設(shè)計(jì)驗(yàn)證、工藝控制檢測(cè)、晶圓測(cè)試(CP測(cè)試)以及成品測(cè)試(FT測(cè)試)
轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)主要應(yīng)用于芯片設(shè)計(jì)檢驗(yàn)階段和成品終測(cè)(FT)環(huán)節(jié)，是終測(cè)環(huán)節(jié)重要檢測(cè)設(shè)備之一。轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)尤其適用于小型片式半導(dǎo)體分立元件的打標(biāo)、測(cè)試、分選和包裝，是一種主轉(zhuǎn)盤在中心，各個(gè)測(cè)試工位按照順序均布在主電機(jī)周圍的一種高速分選機(jī)，通常包含工位有12個(gè)和36個(gè)等多種型號(hào)
1、產(chǎn)品通過上料結(jié)構(gòu)被送到主電機(jī)轉(zhuǎn)盤上:
2、主電機(jī)轉(zhuǎn)盤吸住芯片并通過轉(zhuǎn)動(dòng)將產(chǎn)品送到下一個(gè)工位
3、上料工位工作;
4、電機(jī)轉(zhuǎn)盤吸取新的一個(gè)產(chǎn)品。
特點(diǎn):
·多工位同時(shí)工作，減少生產(chǎn)周
·精度高，速度快
·安裝簡(jiǎn)單，占空間小
主轉(zhuǎn)盤馬達(dá)三要素
轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)是集成了多種工序于一體的高速檢測(cè)設(shè)備，隨著行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)日益激烈，對(duì)于設(shè)備的要求也越來越高，整機(jī)來看產(chǎn)能故障停機(jī)率，檢測(cè)精度是評(píng)判塔式分選機(jī)重要三要素，那么主轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)的選擇對(duì)于轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)來說也是重中之重了，提升產(chǎn)能的同時(shí)又要保證檢測(cè)良品率。目前行業(yè)中最快的設(shè)備每小時(shí)可以完成50-60K甚至更高的芯片檢測(cè)速度:
產(chǎn)能，故障停機(jī)率，檢測(cè)精度體現(xiàn)在主轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)上面分別是:
·產(chǎn)能=高速高加減速高剛性
·故障停機(jī)率=穩(wěn)定性
·檢測(cè)精度=重復(fù)定位精度
常規(guī)轉(zhuǎn)塔式測(cè)試分選機(jī)技術(shù)要求
16-36個(gè)工位/旋轉(zhuǎn)角度: 22.5°~10 °
單工位轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間:16~24ms
轉(zhuǎn)盤慣量:0.010~0.020 kg.m2
停止時(shí)間:35~60ms
產(chǎn)能:40~60 k UPH
向下/向上Z軸的平均移動(dòng)時(shí)間:6~20ms
奧茵紳應(yīng)用方案
主轉(zhuǎn)盤直驅(qū)方案
主轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)是高速分選機(jī)最重要的運(yùn)動(dòng)之一，而主轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)狀況取決于選取的主電機(jī)性能，奧茵紳DD高速系列能足夠滿足轉(zhuǎn)塔應(yīng)用的此類運(yùn)動(dòng)曲線，非常適用于高精度的移動(dòng)、速度響應(yīng)要求高和對(duì)端跳要求較高的場(chǎng)合。
從運(yùn)動(dòng)控制的角度看，該過程在技術(shù)上極具挑戰(zhàn)性:它需要轉(zhuǎn)塔電機(jī)以非常高的速度運(yùn)行并承受振動(dòng)。搭載奧茵紳為高速分選機(jī)的直驅(qū)馬達(dá)定制的伺服驅(qū)動(dòng)器，使速度穩(wěn)定性進(jìn)一步提高。
經(jīng)典案例
18工位分選機(jī)，20°行程，可以在20ms內(nèi)完成定位（含整定時(shí)間2ms）。且該系列電機(jī)軸向和徑向跳動(dòng)精度較高，可滿足3μm以內(nèi)的跳動(dòng)精度，集成了高精度光柵編碼器，重復(fù)精度可至±2arcsec.采用了低慣量設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)慣量低至0.0041kg.m2,可以非?？斓捻憫?yīng)速度完成相應(yīng)指令動(dòng)作
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0512-65691134